AL120 晶圓搬送機——可以安全地運送極薄的晶圓，確保高效地進行檢查。可根據(jù)檢查內(nèi)容和檢測需要設定詳細的操作條件，并且通過液晶顯示屏可以方便地確認已設定的條件和檢查結果，為快速的檢查提供了幫助，因而可為后工程提供高可靠性和安全性。● 備有 200mm 專用型、200/150mm 兼用型、適用于 150mm 以下晶圓的 150mm 型。
